臭氧技術是既古老又嶄新的技術，1840年德國化學家發明了這一技術，1856年被用于水處理消毒行業。目前，臭氧已廣泛用于水處理、空氣凈化、食品加工、水產養殖等領域，對這些行業的發展起到了極大的推動作用。

臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，臭氧對霉菌也有極強的殺滅作用，不存在任何有毒殘留物。所以，臭氧是一種無污染的消毒劑。

臭氧為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。而傳統的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點?；瘜W熏蒸法也存在不足之處，如對抗性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。